二手 KLA / TENCOR Puma 9550i #9258170 待售
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已售出
ID: 9258170
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Inspection system, 12"
Dual films handler
With integrated mini environment DP sensor
(2) Front Interface Mechanical Standard (DFIMS):
Load ports integrated sub Class 0.1 mini environment (Front to back configuration)
Modular inspection station
Modular user interface
Auto image grab with DSA option
Low noise detection algorithms
Region based binning
Integrated high magnification review optics
Camera with auto focus
Brightfield / Darkfield viewing
Defect clustering and review sampling
Low contact chuck
Integrated ULPA filter
Wafer pre-aligner
High resolution color display
Blanket film inspection
Automated inspection
Advanced Oblique Illumination Optics
Region based multi-thresholding
IRIS Spatial filtering technology
High resolution collection optics
With polarization purity analyzers
2011 vintage.
KLA/TENCOR Puma 9550i是一种晶圆测试和计量设备，设计用于高精度测量设备特征和关键尺寸。是来自KLA Puma家族系统的最新一代计量平台。9550i采用了最先进的技术和创新技术,以确保无与伦比的准确性和生产力。该单元的核心是其高度集成的光学设计：具有扫描辐照度衍射成像显微镜（iSCOPE）和基于两个干涉镜目标的双偏转器设计的独特光头，两者均布置在多轴弯曲阶段。iSCOPE允许在设备的整个表面上同时对多个标准进行成像,并能够分析设备顶部和底部的关键特征大小、临界高度/角度以及迭加测量。双偏转器设计既可以对临界尺寸进行高精度测量，又可以对两个表面进行精确的临界高度/角度测量，运动精度为亚纳米。除了优越的光学设计外，9550i还提供30毫秒单击测量时间的高速测量、不到2秒的特征识别以及不到12分钟全覆盖的晶圆映射。该机还具有卓越的可重复性,5西格玛精度为0.96 nm Critical Dimensions,覆盖误差为0.76 nm。为了进一步促进用户的流程,9550i还提供了具有直观菜单驱动界面的前瞻性用户界面UI,从而减少了用户培训时间,并为自动测量和分析提供了"逐步"示例。TENCOR专有的模式识别软件"自动特征识别"（AFR）可确保从少量扫描的图像中获得高吞吐量和准确的间距分析。KLA Puma 9550i是一种突破性的晶圆测试和计量工具,专为精确测量而设计,并提供任何其他竞争平台所没有的功能。其创新的光学设计提供了无与伦比的准确性、性能和工作效率,而其用户界面、软件选项和卓越的功能识别功能可帮助用户快速识别和分析关键功能,从而使他们能够更快、更高效地完成项目。9550i具有卓越的性能和用户友好的功能,是高级精密测量的理想选择。
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