二手 KLA / TENCOR Puma 9650 #293814960 待售

KLA/TENCOR Puma 9650是专门为半导体工业设计的自动化晶圆测试和计量设备。它结合了对图样晶片进行快速、准确测试的技术和多种检测技术,以实现一整套测试功能。KLA Puma 9650系统利用光学亮场（OBF）和先进的计量技术，快速进行全晶圆检测和测量。它具有完整的晶片成像和模式识别功能,包括增强的高分辨率彩色CCD摄像头,可快速捕获晶片图像并提供晶片功能的详细概述。它的迭加步进对准确保了迭加测量的准确性和测试结果的可重复性。该单位的计量能力包括用于纳米尺度结构详细表征的三维成像、侧壁厚度和迭加/配准测量。它也可用于测量铜、钛、砷化零等多种晶圆基板上的临界尺寸（CD）、线宽粗糙度（LWR）等参数。为了保证精度，TENCOR Puma 9650还配备了晶圆自动对焦机和用于明场成像的大功率照明工具。这样可以确保晶片聚焦在最高级别的细节上,并提高测量的准确性。此外,该资产还附带了一个获得专利的溷合阶段模型,它提供了在晶圆级和模具级执行两种类型测量的灵活性。这有助于降低返工和材料成本,因为可以测试小样本量。集成的VisionLink软件提供了用户友好的图形界面,并实现了自动测试和分析。它为全面的缺陷和故障分析以及趋势分析提供了强大的数据分析功能。该软件还简化了基本和复杂测量的设置过程,从而实现了快速、轻松的操作。总体而言，Puma 9650是一种最先进的晶圆测试和计量设备，旨在提供精确的测量和对图样晶圆的快速检查。利用先进的计量系统和溷合级系统，该装置非常适合于光掩模缺陷检测、非接触式晶片探针测试、模具产量监测等应用。