二手 KLA / TENCOR Quantox XP #293830783 待售
网址复制成功！
单击可缩放
KLA/TENCOR Quantox XP是一种自动化晶圆测试和计量设备,可在晶圆上提供快速、准确和可追踪的测量结果。它设计用于半导体制造环境中的生产，可用于多种半导体计量应用，包括临界尺寸（CD）、线缘粗糙度（LER）、隔离线宽、接触孔和器件交互矩阵（DIM）的测量。该系统由三个主要模块组成：一个电动样品"拾取和放置"模块、一个扫描电子显微镜成像和制图模块以及一个微型探针样品分析模块。拾取和放置模块负责将晶片定位在舞台上，而SEM成像模块允许对晶片上的特征图样进行成像。利用微探针样品分析模块对晶片的特性进行了深入分析。KLA Quantox XP单元的核心是GEMStar软件平台,该平台旨在促进从样品放置到特征测量的整个计量过程。该平台设计为用户友好,可在整个测试过程中提供全面的数据管理。GEMStar还具有广泛的算法库,允许执行多种类型的测量。TENCOR Quantox XP机器配备了多种自动化功能，有助于确保一致可靠的运行。该工具采用自动校准工艺，确保每个晶片的测量精度和可重复性。加上自动化的样品加载和清洗过程，可以实现不间断和高效的晶圆计量。该资产还拥有多种高级分析工具,包括特征识别、多特征污染检测、数据收集自动化优化等。此外，Quantox XP型号是为了与其他现有的KLA系统兼容而设计的。它提供了与客户选择的设备中其他系统的无缝集成,从而确保了过程的一致性和数据的统一性。总体而言，KLA/TENCOR Quantox XP是一个健壮的晶圆测试和计量系统，在晶圆上提供快速、准确和可追踪的测量。KLA Quantox XP设备具有广泛的自动化功能、强大的数据管理平台以及与其他TENCOR系统的兼容性,是任何半导体制造环境的理想合作伙伴。
还没有评论