二手 KLA / TENCOR Quantox XP #9252245 待售
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KLA/TENCOR Quantox XP是一种结合了几种光学、成像和模式识别技术的复杂晶圆测试和计量设备。该系统能够对组成、几何形状、缺陷复杂度等进行半导体分析。它旨在提供高速、自动晶片检查,并减少维护停机时间和增加吞吐量。KLA Quantox XP被设计用于生产过程，并以重型结构建造到最后。它包括KLA专有的"激光干涉测量"技术，用于测量细晶圆地形，如阶梯高度。该单元还拥有一套软件工具，以提供出色的特征识别能力。它测量每个特徵的大小、形状、对齐和缺陷行为，精度为0.5微米。该机还有一个飞行时间（TOF）显微镜和嵌入同一平台的SIMS深度剖析工具。前者使用户能够以0.5微米的横向分辨率检查和分析晶片的3D地形。另一方面，SIMS深度分析资产提供了晶圆中存在的缺陷类型和数量的详细观察。它可以测量每种缺陷的深度,并有助于识别各种缺陷。此外，TENCOR Quantox XP还配备了用于晶圆表面成像的"MultiSpectral Imaging"技术，有助于先进的缺陷表征和分析。此外,此型号具有100毫米大的扫描视野,允许用户一次拍摄整个晶片表面。它还具有用于烘烤消除、多尺度分析、傅立叶变换分析等高级算法的软件，用于更精确的缺陷分析。Quantox XP是一款高效、可靠且具有成本效益的蓝色晶片测试和计量设备。它提供了即使是最复杂的晶圆地形的精确和精确的测量，具有令人印象深刻的分辨率。它易于使用的软件套件提供了直观的用户界面和强大的自动化分析功能。此外，它的闭环自动化确保了高生产率和重复性，使其成为任何工业晶圆应用的完美系统。
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