二手 KLA / TENCOR Quantox XP #9296678 待售
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KLA/TENCOR Quantox XP是一种晶圆测试和计量设备，设计用于综合缺陷分析和故障诊断。它具有五个关键特征，使其能够准确测量和处理来自晶圆或其他基材的扫描数据。首先，数字成像系统可以捕捉晶圆表面的图像，从而能够在宏观层面和亚微米层面对晶圆几何进行精确的检查和测量。其次，检测单元提供最佳信噪比和全场测量能力，分辨率高达5 µm。这样就能够检测到最小的缺陷和污染物。第三，机器先进的发光成像能力允许对掺杂映射、晶粒结构、光刻和量子点应用进行评估。第四，KLA Quantox XP专为自动晶圆映射和缺陷实时检测而设计，实现了高流程吞吐量。它使用高级用户定义的配方进行自动化操作,即使在复杂的环境中也是如此。最后，该工具的综合分析和报告能力提供了晶圆缺陷景观的详细重建和生产缺陷的综合表征。对于晶圆制造商而言,此资产通过识别和鉴定生产过程中的重大缺陷,避免成本高昂的返工和报废,提供了显着的质量改进。它易于使用,具有简单的基于GUI的操作。此外,它是为实现可扩展性而设计的,因此用户可以从基本模型开始,并在流程需求变得更加复杂时添加更多功能。最后，它的建立是为了提供长期使用，并配备可升级的部件，以便不断改进设备性能。
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