二手 KLA / TENCOR Quantox XP #9296679 待售
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KLA/TENCOR Quantox XP是业界领先的晶圆测试和计量设备，设计用于半导体晶圆的高效、准确和可靠的表征。KLA Quantox XP利用先进的成像技术和高度精确的分析算法,对晶圆表面的电气、光学和物理特性进行精确的测量。该系统的创新设计使得快速扫描大型1,000毫米和300毫米晶圆以及较小的芯片成为可能。它利用一个灵活的多摄像机和多光源平台，该平台采用专利的双波长多光谱成像和精确的图像分析算法来精确检测晶圆表面上的任何缺陷。这种强大的成像技术可以隔离亚衍射有限的缺陷，如线宽低至0.1µm及以下。TENCOR Quantox XP的软件包允许用户同时查看具有精确迭加的三维曲面图，用于比较多种晶圆和缺陷类型。Quantox XP除了提供晶圆表面不同的视觉表示外，还能可靠地测量晶圆的各种电气、光学、机械、化学、热和其他特性。这包括尺寸、表面粗糙度、形状、电气特性、光学和结构特性以及温度的测量。该单元可以以令人难以置信的精确度测量每一个属性，为晶圆加工工程师提供有关产品质量的宝贵反馈。KLA/TENCOR Quantox XP还具有自动评估工具,允许用户自定义最适合其测试需求的实验设置。这包括在同一测试程序中配置多个测试、自动测试优化和性能分析。集成分析包在完成后迅速生成全面的测试报告。总之，KLA Quantox XP是高效可靠晶圆测试和计量的理想解决方桉。这台机器具有强大的成像技术、定制软件和精确的多参数测量,为制造半导体电路提供了最好的数据分析。
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