二手 KLA / TENCOR RE35e #9130305 待售

KLA/TENCOR RE35e是一种晶圆测试和计量设备，设计用于半导体器件的高精度表面和深层计量检查。该系统在很小的占地面积内提供卓越的性能,而不会影响测量精度。KLA RE35e被设计为提供优越且非常精确的晶圆级测量，同时还允许更高的吞吐量速率。它包括一个先进的多轴CCD平台,利用高分辨率的光传输模块以及最先进的硬件和软件解决方桉,适用于在线和基于实验室的计量。它具有集成的双级模式发生器,允许测量不同的模式大小和深度。阵列生成方法可确保一致、高分辨率的结果,无论晶圆材料或工艺类型如何。TENCOR RE35e集成的聚焦和对齐算法可实现成本较低且速度非常快的测量。此外，其先进的光学模块、柔性模式生成以及高精度的伺服电机提供了非常精确的测量，没有在结果中引入伪影。RE35e包含了一个直观的用户友好软件界面,使用户可以轻松地为各种应用程序和任务设置和配置该单元。用户可以轻松访问和控制机器的许多功能。用户可以从各种设置中进行选择,包括计量类型（例如CD、横向临界尺寸、厚度等）、曝光设置（倾斜度、焦点、曝光时间）和获取的数据采集参数（例如采样率、增益、线性等）。该工具还提供多种高级功能，如多站点测量识别、自动晶圆映射、信号分析和光学模型构建。这允许用户获得非常精确的测量,同时仍允许更快的吞吐量。KLA/TENCOR RE35e是用于研究和生产目的的理想选择,因为它能够进行精确和快速的晶圆级表面和深层计量检查。它将最大限度地提高效率,降低错误率,并确保可靠的数据。