二手 KLA / TENCOR RS-35 #9137627 待售

KLA/TENCOR RS-35是一种先进的晶圆测试和计量设备，旨在为用户提供有关半导体晶圆状况的精确信息。该系统使用先进的光学和数字成像来检测和测量晶圆表面的物理异常。一旦发现异常，就可以评估其对晶片质量的影响。该单元基于KLA SensArray光学探测器，能够测量小至8nm的物理证据。SensArray Detectors使用高分辨率数字成像来创建晶圆表面的图像,其锐度是传统成像系统的1000倍。得到的图像显示晶片表面可能存在的任何异常，如划痕、碎屑或凹坑。KLA RS-35使用与传统光学计量系统相同的原理进行测量，但提高了速度和精度。该机每小时最多可对400个芯片进行测量，分辨率为1nm。这样可以更快地检测瓦夫表面的潜在缺陷。它还确保在开始生产之前查明并处理任何损害。TENCOR RS 35还包括缺陷分类的集成模块。本模块利用了一种算法，该算法旨在将检测到的异常分为几类，如模式不规则性、电阻率变化或粒子缺陷。这允许用户快速识别潜在的问题缺陷,并采取纠正措施以确保最终产品的最高质量。此外，RS-35还包括晶圆平坦度模块。本模块测量晶圆平坦度,并确定可能导致生产问题的非平坦区域。此模块有助于确保使用刀具制造的晶片符合最高标准。RS 35是一种强大可靠的测试和计量工具，为用户提供了一种高效准确的识别晶圆潜在缺陷的方法。其先进的光学、数字成像和缺陷分类功能确保用户能够快速准确地评估其晶片的质量。