二手 KLA / TENCOR RS-55TCA #9195303 待售

KLA/TENCOR RS-55TCA是为半导体制造和IC设计而设计的晶圆测试和计量设备。它是一个完全自动化的系统,支持高分辨率缺陷分析、产量管理、过程控制和故障分析。该单元在监测和控制集成电路生产方面提供了高精度、重复性和可靠性。KLA RS55TCA机结合了CCD（电荷耦合器件）传感器、模片对齐器和多轴级，提供高分辨率和卓越精度的图像。CCD传感器使用获得专利的光学成像工具在单个模具和模具级别捕获不可见信息。然后采用先进的显微镜成像技术对10-40 µm的缺陷进行分析和检测.晶片对齐器记录晶片地形，并提供了一个大的视野来准确定位和识别缺陷。多轴级为精确定位和移动提供了高精度的运动。TENCOR RS-55 TCA用校准盒校准，确保在亚微米级精确计量。该资产能够从晶圆上的不同位置测量多达八个不同的参数。TENCOR RS 55 TCA从一直的模具测量到宏观水平的光电倍增管测量，都可以检测到集成电路生产过程中可能出现的任何不规则性。该模型还能够检测薄膜沉积、晶粒结构、横截面成像和TEOS（原硅酸四乙酯）沉积等特征。RS-55TCA是一种先进的芯片制造和制造计量工具。它旨在提供高精度和可重复性,同时提供可靠的数据,以帮助进行产量管理和过程控制。此工具可帮助确保最终产品的质量保证,同时还可识别和缓解生产问题。KLA/TENCOR RS 55 TCA坚固的多轴级、CCD传感器和模片对齐器为精确可靠的晶片测试和计量提供了强大的组合。