二手 KLA / TENCOR RS-55TCA #9245519 待售

KLA / TENCOR RS-55TCA
ID: 9245519
Resistivity mapping system SMIF.
KLA/TENCOR RS-55TCA是一种晶圆测试和计量设备,旨在为当今要求最苛刻的半导体制造工艺提供先进、全面的分析解决方桉。凭借其自动对准和机器人处理系统,它可以应对单批检查数百个晶圆的挑战。KLA RS55TCA能够在其整个表面积上测量每晶圆高达8200点。该系统配备了一个机动化、全自动的五轴对准装置,其精确度高于许多其他现有系统。它能够精确测量直径不超过200 mm的晶片,以及200 mm至500 mm的所有厚度的晶片。此外,该机器还能够测量各种晶片特性,包括厚度、平坦度、表面张力和电性能。TENCOR RS-55 TCA还包括多种高级计量工具,例如它的BandViewer功能允许通过实时比较多个晶片来进行高级晶片分析。此外,它还提供了多种高级功能,例如板载计算机工具,它可以存储高达4 GB的数据以及多达25,000条测试记录。它还能够创作自定义测量程序,并提供图形用户界面,以便于实施这些程序。KLA RS 55 TCA还包括一个独特的质量保证功能,旨在保证测量的准确性。它还具有高速扫描选项,允许更快的周转时间,并有助于最小化任何进程停机时间。KLA/TENCOR RS 55 TCA是一种高度通用和先进的晶圆测试和计量资产,能够为进一步优化产量和降低成本提供关键的工艺见解。它具有多种功能,旨在提供高精度和高精度的测试,以便提供可靠的数据和结果。
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