二手 KLA / TENCOR RS Series #293597083 待售

KLA/TENCOR RS系列是一种最先进的晶圆测试和计量设备，设计用于对微电子生产和包装进行高效、准确的监测。它是一个完全自动化的系统，允许对晶圆表面进行快速和可靠的测试。KLA RS系列由三种不同型号组成，具有鲜明的特点和功能。RS 300模型是为具有临界尺寸扫描单元或CD-SEM的高级3D过程控制而设计的。它能够检测表面缺陷和粗糙度，具有很高的精度和可重复性，即使在最小的电路模式。RS 300还包括一个光学显微镜模块,它具有彩色视频功能,可提供高分辨率图像,并测量薄膜厚度、蚀刻深度/轮廓、晶粒尺寸和光学特性。RS 500模型用于表面和薄膜的精确计量。它配备了介电白光反射仪，能够分析和测量晶圆的介电特性，而无需样品接触。这样可以在整个晶片表面上获得更精确和一致的结果。该模型还包括质谱仪模块，能够分析和量化气体污染物和惰性物质。TENCOR RS系列中最先进的型号是RS 1000,它是为生产环境中的高性能、映射级测量和监控而构建的。该模型包括一个集成的透射透射电子显微镜（TEM）机器，用于直接观察纳米结构和特征。该工具还配备了基于干涉仪的"非接触式"三维表面测量资产，使低噪声和残留相位测量能够比以往任何时候都更加精确和精确。总之,RS系列是先进晶圆测试和计量的理想解决方桉.它可以提供对表面特性和纳米翅目的精确测量，能够监测污染水平，并提供无与伦比的数据分析能力。它的自动化模型确保了快速高效的结果，从而提高了生产效率，改进了微电子制造的质量控制。