二手 KLA / TENCOR SFS 6200 #9083816 待售

KLA/TENCOR SFS 6200是为半导体制造业设计的下一代晶圆测试和计量设备。它提供超精确的分析和快速的吞吐量,以实现高效可靠的生产。该系统能够进行基板测试、表征表面、图样检查和计量，以及数据提取和晶圆几何表征。它还能够进行过程监测和监管。该单元展示了高速、高精度的光学扫描，允许在8英寸和12英寸晶圆尺寸范围内最多16微米的行程。机器的高灵敏度光学检测器提供快速准确的测量，确保准确无误的测试结果。为了保证晶圆的完整性和优越的表面粗糙度，测量结果与一微米以内的范围相关。该工具配有三个摄像头，两个配有线性舞台，一个配有自由光束。这提供了高效和通用的表面扫描,并在X和Y平面中进行了测量和检测。线性级允许在两个平面中精确移动,从而能够对样品表面特征（如颠簸、凹坑、划痕、扭曲表面和缺陷）进行高精度测量。KLA SFS 6200结合了先进的光学、运动、软件和电子设备,具有优于1 sigma的性能和精确度。它还使用创新算法收集表面数据，最大化每个晶圆中的可用信息。总体而言,TENCOR SFS6200是一种功能强大且用途广泛的测试和计量资产,可提供卓越的吞吐量时间和最高的准确性。它能够进行表面分析和表征，在半导体生产中提供卓越的性能、速度和效率。