二手 KLA / TENCOR SFS 6420 #293755921 待售

ID: 293755921
Particle counter system.
KLA/TENCOR SFS 6420是一种晶圆测试和计量设备。它是一个先进的自动化系统,能够测试各种大小的晶圆样品和工艺节点。该单元具有快速高效的测试、准确、可重复的结果以及易于用户交互的特点。KLA SFS 6420测量半导体晶片的电气特性和结构特性,能够分析广泛的测试样品。机器以两种模式运行:手动测试模式和自动测试模式。在手动测试模式下,操作员会实时运行测试并观察结果,以快速确定所需的参数。它还提供了定义自定义测试参数的灵活性。在自动化模式下,测试可以提前设计,并在一段时间内批量运行,从而允许并行执行多个测试。TENCOR SFS 6420利用多种传感器精确测量测试样品。其中包括用于测量结构特性的光学传感器,包括薄膜厚度、颗粒污染和地形。该工具还使用电气探针来测量某些电气特性,如电压和电流。它能够执行高级计量,如在线视觉检查、极限运动学、粒子的自动检测和跟踪以及FIB模式。该资产的设计符合严格的安全要求,符合SEMI标准。它还具有全面的内置诊断,包括自我诊断测试,以确保准确的结果。对SFS 6420进行了优化,以便在恶劣的晶片晶片环境中获得稳定的效果,具有减振、内置噪声抑制和坚固的构造等特点。KLA/TENCOR SFS 6420提供了一个大型软件套件来方便质量保证、数据分析和报告。其直观的图形用户界面允许用户查看测试结果、生成报告和查看数据趋势。该模型还提供了高级分析工具,以进一步分析测试结果并生成详细报告。此外,它还可以方便地安装一系列第三方软件系统,以进行进一步的数据分析和审查。总体而言,KLA SFS 6420是一种先进的晶圆测试和计量设备,能够测量各种晶圆样品。它设计用于高效、准确的测试,并提供全面的分析工具以进行详细分析。它还能够满足严格的安全和质量标准,其机械臂可以支持各种工具和定制的工作站。总而言之,TENCOR SFS 6420是现代高性能晶圆测试和计量任务的理想选择。
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