二手 KLA / TENCOR SFS 6420 #293821383 待售

KLA/TENCOR SFS 6420是一款高性能晶圆测试和计量设备，专为半导体行业的广泛应用而设计。它是为提高效率和可靠性而设计的小占地面积系统。它能够对晶片进行全面的综合测量和测试,并具有全方位的地形过程。KLA SFS 6420以先进的激光扫描技术为基础,能够在一次运行中在整个过程中提供严格的测量精度。它具有测量晶圆表面地形的二维光束。该集成单元的数据中继到用于实时分析和报告的复杂软件。一种自动算法可以识别超出规格的流程,因此操作员可以实时采取预防措施。TENCOR SFS 6420有一个集成的全场光学机器，用双激光对比度一次扫描整个晶片。此工具与独特的集成XY瞄准平台相结合,可确保测量的准确性和可重复性。它能够以5 x 2 mm的增量扫描晶片,并实现高达0.25 μ m的高分辨率。SFS 6420还具有一系列故障安全功能,可确保资产平稳运行。先进的温度稳定使模型的性能保持最佳,同时获得专利的两步胶片高度映射保护,以防止机械和电子错误。还有一些集成的安全功能,可防止未经授权访问其数据或组件。总之，KLA/TENCOR SFS 6420是一种先进的晶圆测试和计量设备，旨在提高效率和可靠性。它是半导体工业的理想选择，提供具有双激光对比度、严密测量精度和一系列故障安全特性的集成全场光学系统。