二手 KLA / TENCOR SFS 7200 #9200112 待售
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KLA/TENCOR SFS 7200是一种精密晶圆测试和计量设备,融合了一系列先进的晶圆测试和计量技术。该系统可对各种半导体晶圆类型进行高精度、高精度的测量。该设计利用模式识别、热成像和高分辨率自动光学检查以及图像分析来精确测量晶圆表面上芯片的大量模具级数据。KLA SFS 7200提供了评估高级半导体性能特性所需的一组强大功能。其晶圆探测技术得到了先进的检测单元的支持,该检测单元可以测量多种电气特性,如电流泄漏和电阻。该套性能和计量功能包括截止电压测量、自动光检测、接触检测和模具平整度测量。TENCOR SFS7200能够处理多个晶片基板,包括平板显示器、蓝宝石硅、碳化硅、绝缘体硅、光学和金属化晶片。其先进的图像处理系统可以精确定位晶片上的凹槽、台阶、孔、凹坑、凸点、通道和其他特征。KLA/TENCOR SFS7200可以识别表面模具的材料类型、几何形状和电气特性,并提供自动化数据分析以提供测试结果的详细报告。这台机器还允许工程师创建自定义测试例程并分析尖端设备的结果,使他们能够快速识别缺陷并优化其过程。SFS7200可用于检查多种材料,包括铜、铝、钢、多晶硅、多晶、化合物和砷化铵晶片。该工具还集成了集成控制系统,以精确调整光轴,用于查看晶圆表面。通过这些功能,TENCOR SFS 7200可以验证高级流程性能的标准。总体而言,KLA SFS7200是一种高度可靠和精确的晶圆测试和计量资产,具有一系列传感能力。它是测量、诊断和表征复杂半导体模具特性的有效工具,使工程师能够简化其工艺并生产出质量最高的零件。
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