二手 KLA / TENCOR SFS 7600 #293645416 待售

KLA/TENCOR SFS 7600是为高性能晶圆检测分析而设计的下一代晶圆测试和计量设备。它是一个可扩展和模块化的平台，支持一系列的基板，包括硅，复合半导体，有机和具有广泛的测试配置。该系统可配置为测量临界/整体尺寸（CD/OD）或临界尺寸小角度/CDSA、多模/CDMD和未对齐/迭加。该设备配备了先进的光学设备、高分辨率图像分析和基于视觉的自动化测试功能,可检测和表征分辨率高达5nm的缺陷。除成像和检查技术外，还集成了一系列全面的计量工具，包括四维激光扫描显微镜、光学和扫描电子显微镜以及通用光学系统，从而能够测量边缘分辨率和其他临界基板。KLA SFS 7600还支持广泛的晶圆级计量和测试能力，包括总晶圆应力/应变和电气测量、光学临界维度（OCD）测定以及热残余应力测量。它还提供了先进的智能分析工具组合，如有针对性的抽样和自动模式识别，以及广泛的自动化测试和数据报告流程，以确保高效和准确的结果。该机器设计用于各种工业应用，从研究和汽车到航空航天和消费电子。它提供高质量的图像、高级处理和准确的数据,用于识别和表征缺陷,以帮助确保产品质量、过程一致性和产量控制。除了高度可配置和易于使用外,TENCOR SFS7600还与其他晶圆测试系统和企业解决方桉无缝集成,以实现全面的数据管理和可追踪性。