二手 KLA / TENCOR SFS 7600 #293808150 待售

ID: 293808150
优质的: 1996
Patterned wafer inspection system 1996 vintage.
KLA/TENCOR SFS 7600是一种晶圆测试和计量设备,设计用于广泛的半导体织物和铸造厂的高性能。它配备了多种先进的特征解决方桉,包括多级检测、高密度晶圆映射以及先进的缺陷检测。该系统能够分析各种形状和大小的样品,包括全晶片。KLA SFS 7600旨在协助检查和测量模具的模拟和数字电路以及物理尺寸。该装置配有光学显微镜,使用户能够以极高的分辨率检查图像。可检查区域为300 mm x 220mm,可通过使用额外的基板进行扩展。此外,该机器还可以结合一系列高端配件,如光学滤波器、专门的测试技术和各种探针,为各种复杂的检查应用量身定制。TENCOR SFS7600还配备了最先进的计量能力,允许精确测量晶圆表面的物理特征。这包括卡盘和舞台的精确对齐,以及定制设计的自动对焦解决方桉。该工具还能够进行多阶段测量,使用户能够分析埋藏层的特性,并调查复杂的结构,如自组织金属网格。此外,还可以对资产进行校准,从而允许用户在一系列条件下确保准确的结果。该模型还提供了一套自动化缺陷审查解决方桉,可用于简化检查过程。设备可以生成可定制的报告,提供缺陷的图形精确图像,并隔离和存储缺陷数据以供后续查看。此外,SFS7600有多种统计分析解决方桉,使用户能够准确识别潜在的减产趋势。总体而言,KLA/TENCOR SFS7600是一种通用的晶圆测试和计量系统,能够以最高分辨率提供精确的数据。它结合了先进的技术、自动化的工具和可定制的报告,使其成为半导体制造商和铸造厂的宝贵解决方桉。
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