二手 KLA / TENCOR SFS 7600 #9167258 待售

KLA/TENCOR SFS 7600是半导体工业中使用的一种领先的计量和晶圆测试设备。与之前的SFS 6000相比,它提供了更好的性能和功能。该系统将任务优化的高速计量单元与自动晶圆测试和处理系统结合在一起，提供了一个全面的平台，旨在满足最苛刻的半导体市场。其主要特点包括高灵敏度的测量能力、晶圆测试的高吞吐量以及无与伦比的自动化。KLA SFS 7600具有创新的高动态性能Optex光学机器,具有大色差校正（LAC）技术。该工具与几种光线和测量设置的兼容性允许进行从原子级到微观尺度的广泛的高级测试。这种自动晶圆测试资产提供了单个晶圆上多层的全面表征，电子、离子、器件和光学特性的高级分析。TENCOR SFS7600模型的精密计量性能使晶圆表面缺陷实时监测、产量管理和提高产量优化成为可能。它提供了用于非接触和扫描模式测量的附加功能,并提供了用于边缘和晶体特征的高级算法。设备的先进算法还允许精确测量源/排水和其他关键几何特性，用于过程控制。此外,KLA/TENCOR SFS7600还提供了更灵活的访问权限来管理本地数据库。它提供了一个开放、用户友好的环境，让用户有能力定制系统以满足他们的特定需求。它提供自动晶圆测试功能,以便从实验室到生产现场进行有效的晶圆测试和分析。该单元有一个集成的机器人装载机和卸载机，可以同时处理多达6个晶片，从而在使用多个晶片时提高效率。KLA SFS7600还配备了多种软件解决方桉,旨在最大限度地提高用户的工作效率和准确性。主要功能包括高级实时缺陷检测、调查工具包、自动晶圆厚度映射以及全面的统计报告工具。这使得SFS7600成为半导体行业晶圆测试和计量的理想选择。