二手 KLA / TENCOR SFS 7700 #170115 待售
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KLA/TENCOR SFS 7700是为半导体制造而设计的集成晶圆测试和计量设备。该系统由一套产品组成,包括光学和电气测量工具、高级软件以及针对各种特定于客户的应用程序的配置。该单元的光学部分将包括用于成像和表面检查的SEM(扫描电子显微镜)、用于拍摄X射线或紫外线图像的光学检查显微镜,以及用于制图和成像晶圆样品缺陷图的晶圆映射机。KLA SFS 7700的电气部分由接触探针、降压转换器和电流源组成,用于测量不同电压和温度下多个设备的电气参数。这些电气测量使用户能够测量电压、电阻、电流、电容和类似参数,以便评估半导体元件和器件的性能。TENCOR SFS 7700的精密软件套件旨在帮助用户计算、存储和分析这些仪器收集的数据。该软件将能够定位、识别和报告晶片缺陷,以及跟踪晶片的生产和产量信息。此外,用户还可以配置自己的自定义宏命令,以帮助简化数据管理任务。SFS 7700还可以配置为执行特定任务,如晶圆缺陷评估、过程监视、产量分析和数据报告。它为用户提供了多种功能,例如自动前端缺陷映射、自动故障查找和诊断、用户友好的图形用户界面以及可追踪性和可追踪性支持。总体而言,KLA/TENCOR SFS 7700是一种功能强大、全面的晶圆测试和计量工具。它能够对半导体元件和器件进行高度精细和准确的测量,帮助确保消费者获得最高质量的产品。
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