二手 KLA / TENCOR SFX 100 #293761851 待售

KLA/TENCOR SFX 100是一种晶圆测试和计量设备，为硅片制造过程提供高度精确的结果。它旨在快速、精确地分析各种硅片参数，从而实现快速、高效的质量控制管理。KLA SFX 100的主要部件是消色差自动/手动对准系统、自动/手动对准处理器和自动对准显微镜。消色差单元使用两个彼此相对安装的CCD摄像机，提供仪器视野内晶片的精确对准。机器还配备了自动对齐模块，该模块使用算法定位、识别和跟踪晶圆的阵列点，以便在不到一秒的时间内精确对齐。TENCOR SFX 100具有强大的光学工具,可进行自动晶圆测量,并提供手动和自动计量功能。资产可以测量各种参数，包括切割/蚀刻、峰值表面粗糙度和线宽，精度高达0.5纳米，以及光刻材料层和其他特征。SFX 100还能够逐片优化，以确保批处理尽可能高效。这是通过合并闭环反馈模型来实现的，该模型允许用户在测量晶圆参数后立即对其进行必要的调整。这有助于减少传统的开销操作所花费的时间,例如在运行实验时校准和优化设备。此外，KLA/TENCOR SFX 100可以利用高精度激光干涉仪检查晶圆几何形状。它可以精确测量包括线宽、特征高度、拐角半径和非线性分布在内的各种临界几何和尺寸参数。总体而言，KLA SFX 100是一种先进的晶圆测试和计量仪器，非常适合半导体制造。它提供了高精度和高精度的各种关键参数的高效测量。系统的自动化和手动对准解决方桉确保每个晶片都能准确定位在仪器的视场内。此外，TENCOR SFX 100的高精度激光干涉仪和闭环反馈单元使用户能够快速高效地定制晶圆的参数。