二手 KLA / TENCOR SFX 100 #9249578 待售

KLA/TENCOR SFX 100是一个晶圆测试和计量系统，提供对基板和薄膜的自动化测试和分析。该系统有两个主要组成部分：一个用于成像和薄膜计量的光学模块和一个用于高分辨率电气测试的电子模块。对于光学分析，KLA SFX 100有一个频率调谐的"广域"显微镜。这允许对大晶圆表面进行非接触、无损成像。它能够观察地形和微观结构等各种参数。加上某些配件，可以测量薄膜厚度和粒径。电子模块由四个独立的仪器组成。这包括一个激光干涉仪和一个用于测量高频信号的电压探针，以及一个用于测量基板横跨给定区域的横向电特性的扫描仪级和压力扫描仪。该模块可用于测量基板的电阻，以及设备的电容和电流。TENCOR SFX 100提供对设备、基板和薄膜的快速、自动化分析。它只能通过选择探针和附件来快速准确地测量范围广泛的参数。它非常适合于薄膜器件的快速测试，并提供晶片的电气、光学和结构特性的详细见解。