二手 KLA / TENCOR SFX 100 #9351463 待售

KLA/TENCOR SFX 100晶圆测试和计量设备是一个下一代平台，专门设计用于启用测试、检验和计量过程。该系统利用自适应光学、5轴运动控制、自动模式识别算法和高速传感器元件，能够对集成电路和光电元件进行精确测量。KLA SFX 100可以测量各种类型的电信号和光信号，包括Si/SiO2层、线路/空间、隔离形状和特征大小。该设备能够检测和校正像差，并以出色的可重复性和准确性显示表面变化。TENCOR SFX 100的自适应光学和运动控制动态调整成像臂的成像平面透镜、光圈和运动平面，以优化信号接触和强度水平。5轴运动控制使元件测试和计量过程中的振动最小化,并允许扫描大面积元件。SFX 100包括用于组件识别的自动模式识别算法和用于信号处理和缺陷检测的自动信号和特征识别算法。该机与内置信号评估技术集成，可快速、准确、高效地输出数据。它还可以为制造分析和验证创建详细的元件和刀具模型。KLA/TENCOR SFX 100具有直观的用户界面和图形用户界面,用于简单的设置、操作和报告。它还与SCI（或Standard Calibration Interface）集成，用于高效的数据交换、与其他系统的集成以及批处理。总而言之,KLA SFX 100是一种高度复杂的资产,专门设计用于实现高精度测试、检查和计量过程。它结合了自适应光学、5轴运动控制、自动模式识别算法和高速传感器元件，能够对集成元件和光电元件进行精确测量。其直观的用户界面、自动信号和特征识别算法，以及内置的信号评估技术，简化了组件测试和计量的过程。