二手 KLA / TENCOR SFX 200 #293587424 待售

KLA/TENCOR SFX 200是一种晶圆测试和计量设备，提供故障分析和工艺优化所需的精度和控制。该系统非常适合半导体行业使用,提供各种高级功能和优势,使其成为设计师和工程师的首选。KLA SFX 200单元的核心是具有高分辨率二次电子检测器和高真空电子源的多区扫描电子显微镜（SEM）。机器的模块化设计允许整合各种样品准备模块，如样品清洗和涂层，以便进一步调查计量样品。工具的大工作区域（标称视野为200毫米）为多种MEMS或片上资产设计提供了空间,同时结合了诸如亚微米分辨率和自动化等关键功能。可供使用的各种晶圆考试系统使用户可以根据特定需要设计和定制自己的系统。例如，模型采用非接触式的自上而下成像方法，消除了在工作表面上准备和修理钻孔试样的需要，同时提供精确的测量和成像。设备还使用多个光源来识别、表征和数字化晶圆表面的任何缺陷。所有这些功能都可以配置和编程,以改进调查的分析任务。TENCOR SFX 200的图形用户界面（GUI）旨在帮助轻松跟踪、分析、报告和归档测试数据。该系统提供了信号采集、数据可视化和自动化工具的强大组合,以简化工作流程。开放式体系结构编程可确保任何平台都可以轻松集成到测试设置中。为了获得额外的价值，该单元与可选的SPC、FDC和统计分析软件完全兼容。SPC功能确保样本配置文件符合协议,而FDC量化测试参数的准确性和可重复性,并为分析提供有意义的数据。集成的统计分析软件还帮助用户创建关联、标准化行为以及有助于过程优化和缺陷表征的绘图。总体而言,SFX 200晶圆测试和计量机是一种通用、用户友好的解决方桉,它可以使晶圆测试和计量学更快、更容易、更准确。凭借其高分辨率的成像和广阔的工作区域，该工具使用户能够完成复杂设备的全面诊断和表征。该资产的先进特点使其成为故障分析和工艺优化的理想选择。