二手 KLA / TENCOR SFX 200 #293761849 待售

KLA / TENCOR SFX 200
ID: 293761849
晶圆大小: 12"
Thickness measurement system, 12" 2005 vintage.
KLA/TENCOR SFX 200晶片测试计量设备是一种全自动、多功能的系统,设计用于对小型和大型半导体晶片进行检查、测试和较大规模的分析。该单元提供了全面的测量功能,允许用户在各种各样的晶圆上执行各种参数和应用,包括各种多级嵌入式内存体系结构。KLA SFX 200利用功能强大的4通道彩色CCD摄像头和高分辨率的大幅面彩色显示器来支持机器的动态实时全画幅成像功能。通过这种方法,测试和测量可以降低到个位数微米,从而能够在任何复杂程度上对晶片进行详细检查。除了其CCD相机外,TENCOR SFX 200还包含一套精密的光学元件,包括一个机动化、多配合的Z轴和自动对焦对准子系统。Z轴平台可以调整以允许对各种晶圆尺寸进行测量和检查,直径从几毫米到十二英寸不等。SFX 200的X和Y轴也可以调整以允许最佳晶圆对齐。该工具还具有复杂的算法,旨在识别和测量线宽、线距、缺陷分析和阻抗等特征。此外,KLA/TENCOR SFX 200还附带了许多附加的宏脚本工具,这些工具可以定制以自动执行常见任务,例如晶圆对齐和缺陷分析。这使用户能够快速准确地分析其晶片的组成、排便和地形等参数。KLA SFX 200还支持与一系列晶圆映射系统的集成,允许它与光刻设备和其他晶圆处理系统结合使用。这使用户能够快速轻松地将晶圆测试资产的测试结果与处理参数关联起来。简而言之,TENCOR SFX 200是一种强大而精确的模型,旨在为各种半导体晶片提供快速准确的测试和计量。它具有实时成像功能、机动化、多配合Z轴以及可定制的脚本工具,使其成为任何尺寸晶圆的强大工具。SFX 200集成到一系列晶圆映射系统,具有先进的缺陷分析能力,是半导体制造工艺流程优化的理想选择。
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