二手 KLA / TENCOR SLF17 #293661244 待售
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ID: 293661244
Reticle inspection system
Reticle loading:
SEMI Standard reticle: SLF17HR-Ursa handle
SLF17HR-Ursa automatic loading with SAL
Reticle dimensional:
Sizes: 5", 6", 7"
Front pellicle height: 6.3 mm
Back pellicle height: None
Maximum pellicle dimension: 149.3 mm x 122 mm for 6" W-DUV reticle
Reticle pattern: 7 mm
Internal storage: FAL Magazine
Pixel sizes: 150, 186, 250 nm
Image acquisition:
Wavelength laser: 364 nm
UV Sensors for transmitted and reflected light
Through-the-lens automatic focusing system
Air-bearing reticle stage with laser interferometer
Data automation/Connectivity:
100 BaseT Network connection
Interface with 97i platform SL3UV and (KLA98/99).
KLA/TENCOR SLF17是专门为满足半导体制造商需求而设计的晶圆测试和计量设备。它提供了先进的技术和高效率地进行各种晶片级测试和测量各种关键参数以达到最大的芯片产量和质量的能力。KLA SLF17是一个集成的计量学系统,它提供了一整套自动化的测试和测量解决方桉。它基于模块化体系结构构建,使操作员可以根据需要轻松扩展设备并添加其他组件。这使用户能够根据其过程要求和产品目标自定义计算机。TENCOR SLF 17的灵活体系结构确保它可以用于严格的晶圆级测量,这些测量对于当今最先进的半导体工艺至关重要。SLF17可以配备广泛的测试、成像和测量能力。其主要测试子系统包括一个电光检测模块、模模测试和示波器。该工具还具有自动晶片处理和标准定位控制模块以及高级数据采集软件。这种硬件和软件的结合使得KLA/TENCOR SLF17以最大的速度和准确度进行晶圆测试的理想工具。此外,KLA SLF17还提供多种可选功能,使资产更加强大。选项包括高密度晶圆映射、带有电气探测模块的缺陷捕获、模具级成像系统、缺陷映射引擎以及长期存储解决方桉。这种广泛的功能使TENCOR SLF17高度通用,非常适合执行各种晶圆级测试和测量。总体而言，SLF17晶圆测试和计量模型是一种可靠和先进的计量设备，可以提供一系列自动化的测试和测量功能，以实现最高质量的半导体芯片。从先进的硬件到灵活的体系结构,KLA/TENCOR SLF17是当今要求最苛刻的半导体制造工艺的理想选择。
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