二手 KLA / TENCOR SLF17 #293809082 待售

KLA/TENCOR SLF17是一种自动晶圆测试和计量设备，设计用于晶圆特性的测量和分析。它是将自动晶圆探测站的能力与光学显微镜、扫描电子显微镜、椭圆偏光计和傅立叶变换红外光谱仪等计量仪器相结合的集成系统。KLA SLF17具有两个SmartScan T2000 Advanced Wafer Prober,可以执行一系列晶圆探测和测试操作,从测量接触电阻到识别短路和打开。晶圆探针安装在一个倾斜的光学台下，作为各种计量仪器的基础。该单元还包括一个探针对准级、四个Z级、荧光照明机、四个角级、四个温度控制器和一个用于成像的CCD摄像机。Z-Stages和Angle Stages有助于定位用于在晶圆上查看和成像样品的计量仪器。每个计量仪器都安装在XYZ平移工具上,以便在晶圆上进行定位。这一资产还能够自动识别和交换各种工具。TENCOR SLF17还包括一种运输模式，它允许在不同的计量仪器之间自动将样品从盒式磁带转移到盒式磁带。这款设备的亮点之一就是高速运行，每次测试只需几秒钟。该系统能够进行各种计量测试，如光学成像、AFM（原子力显微镜）、拉曼光谱、椭圆偏振、蚀刻速率分析和透射电子显微镜。此外,SLF17还提供各种数据计算功能,使客户能够更好地了解计量结果。数据计算算法可用于分析CD（临界维度）和掺杂浓度等事物，从而为晶圆过程提供有价值的见解。该单元还具有广泛的特性和功能，使用户能够根据自己的特定测试和计量要求定制自己的机器。此外，科航还提供广泛的培训和支持，以确保用户能够最大限度地发挥这种晶圆测试和计量工具的潜力。