二手 KLA / TENCOR Spectra FX 100 #293828230 待售

KLA/TENCOR Spectra FX 100是一款高端晶圆测试和计量设备。用于精确测量晶片和集成电路的特性。该系统由计量阶段、样本处理程序和成像分析模块三部分组成。计量阶段允许对晶圆的物理特性进行高精度测量。它使用扫描探针显微镜（SPM）、150 mm卡盘、六轴调节级和视觉单元,以实现低至20 nm分辨率的测量。样品处理器是一种机械臂，便于装卸晶片进行测试。成像分析模块采用荧光照明，以高精度测量结构特征、缺陷特征等特征。KLA Spectra FX 100机器被设计为与各种KrF和ArF工具兼容，提供与各种计量需求的兼容。该工具提供可重复性、准确性、分辨率和速度,以确保进行高性能测试。该资产的设计目的是在大批量生产线的极端环境中运作，并可安装电子束辐射源和二次电子成像选项。该模型易于操作,可实现自动晶圆分析,从而提高生产率和吞吐量。它使用直观的用户界面，提供实时反馈和结果分析。设备符合SEMI标准，充分满足质量管理团队的需求。TENCOR SPECTRA FX100系统具有许多优点,包括方便、高效和精确。它可以进行多项临界测试，包括电阻和电容、信号完整性、线缘粗糙度、表面形态特征等电气特性。该设备的强大设计确保了可靠的测试，使其成为晶圆测试和计量应用的理想选择。