二手 KLA / TENCOR Spectra FX 100 #9257025 待售
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已售出
ID: 9257025
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
Thickness measurement system, 12"
EFEM
UI
(2) SEMES Tool buffers
Operating system: Windows XP
(2) BROOKS ISO Load ports
PRI Transfer robot arm
SMIF / FOUP
Missing parts:
Fine focus board
Tilt board
MCB Board
Stage chuck
Monitor
Focus flipper
UV Filter
PC
CPU Board
Frame board
Hard Disk Drive (HDD)
Power: 208 V, Single phase
2004 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 100是一款晶圆测试和计量设备,设计用于半导体行业的最高性能和可靠性。凭借其先进的计量能力,它提供了对各种晶圆特征的最精确和精确的测量。它用于工艺优化和批量验收,确保在整个制造过程中达到最高的质量和性能标准。KLA Spectra FX 100配备了全方位的测试和测量能力,包括工艺表征、缺陷检测、薄膜厚度测量、迭加测量和缺陷审查。它能够测试和测量具有纳米分辨率的特性,使其成为同类系统中最先进的系统。它还被设计为允许用户创建自定义的测量操作和解决方桉,使其能够适应几乎任何过程。TENCOR SPECTRA FX100具有许多先进的功能,使其成为高性能过程的理想工具,包括高度校准的高级飞行检测单元和高精度激光视觉机。先进的飞行检测工具被设计用来检测和精确测量即使是最小的晶圆特征准确和快速。激光视觉资产被设计成以三个或六个自由度检查晶片,甚至可以精确测量最具挑战性的几何形状。KLA SPECTRA FX100具有可靠的硬件和软件,并具有严格的校准过程,可确保所有测量都符合规格。它还包括一台功能强大的板载计算机,用于数据分析,使用户能够快速分析、比较和微调流程。此外,闭环计量模型保证了可重复的准确性和质量。设备也极为人性化,设置、操作和维护简单。综上所述,KLA/TENCOR SPECTRA FX100是一个晶圆测试和计量系统,设计的精度和精度最高。它能够测试和测量具有纳米分辨率的特性,并配备了高度校准的先进飞行探测单元和高精度激光视觉机等先进特性。该工具还具备可靠的硬件和软件、严格的校准过程以及用于数据分析的强大板载计算机,以实现可靠性和准确性。此外,该资产非常方便用户,易于设置、操作和维护,使其成为高性能流程的理想工具。
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