二手 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #293712932 待售
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ID: 293712932
晶圆大小: 8"
优质的: 2000
Thickness measurement system, 8"
Upgraded from F5X
Single open handler
BROOKS / PRI AUTOMATION ESC-212B-S293 Controller
Signal tower
XENON Arch Lamp source
Options:
SE
DBS
GEM / SECS and HSMS
Operating system: Windows XP
Power supply: 220 V, Single phase, 3 Wire, 15 A, 50/60 Hz
2000 vintage.
KLA/TENCOR Spectra FX 200是一种晶圆测试和计量设备，旨在提高前沿半导体器件的产量和可靠性。它结合了几项先进技术，为半导体制造提供了一个全面的解决方桉，包括光学计量、缺陷成像和内联电气测试。KLA Spectra FX 200是一个灵活且可扩展的平台,允许对各种设备进行高效而准确的测试。系统采用光束截取和先进算法的独特组合，精确映射横截面面积，以及生产速度下的界面缺陷。它还具有集成的在线电气测试功能,能够测试直径不超过4英寸的晶片。这使得该单元非常适合晶圆测试和计量任务，同时提供高速度和准确性。除了光学计量能力外，TENCOR Spectra FX 200还提供了强大的缺陷检测机。内置的智能缺陷成像模块使用几台精密摄像机和一台轻型发动机，对高达8微米深度的缺陷进行高精度的检测和分析。这允许快速检测潜在的产量限制缺陷。Spectra FX 200还具有高级缺陷识别功能。该工具的算法旨在以最小化误报并确保最佳产量的方式识别缺陷并对其进行分类。这样可以确保仅识别出该问题的缺陷,从而允许用户采取适当措施解决这些缺陷。KLA/TENCOR Spectra FX 200的性能以集成用户界面为后盾。此图形用户界面（GUI）允许用户从测试过程中的任何位置快速检索、查看和分析测试结果。这样可以方便地获取信息,从而提高准确性和效率。KLA Spectra FX 200是一种功能强大、用途广泛的晶圆测试和计量资产。它提供了先进技术和综合功能集的独特组合,为用户提供高效、可靠和准确的解决方桉,以生产高产半导体器件。
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