二手 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9205856 待售

KLA/TENCOR Spectra FX 200是一种晶圆测试和计量设备，设计用于测量晶圆材料的极化、光谱含量和光学质量。该系统为各种应用提供了通用的解决方桉,从质量控制和晶圆高通量筛选到确定曲面上涂层的光学特性。该单元采用模块化设计，允许用户根据自己的独特需求进行定制。该机器每秒最多可进行50次测试，并配备了记录和分析数据的软件。其先进的成像和光学元件使用户能够在一个图像中捕获整个晶圆表面，并获得完整的光谱信息。KLA Spectra FX 200提供一系列配置选项,可根据各种性能规格进行定制。它配备了一个8英寸角度的墙面适配器、一个光谱仪模块、两个不同的偏振板、一个带有XYZ定位器的对准臂、软件模块以及一个完整的XYZ旋转级。Illumination/Optics Bridge允许自定义光源，允许用户调整和操纵调整图像的亮度、对比度、色度和色调。此外,其光学台上有一个空气轴承底座,可平滑、精确地平移XYZ级,而其触摸屏界面可完全控制该工具,以确保准确的结果。TENCOR Spectra FX 200还包括高级报告和分析功能。该软件能够使用高对比度和低通滤波器识别缺陷，而其极化测量模块提供了双折射的精确测量。其暗场成像模块允许对晶圆表面进行远距离成像，距离不超过1m，其内置的光谱分析和报告生成可用于评估光学质量和缺陷。Spectra FX 200具有如此出色的特性和灵活性,对于需要精确晶圆测试和质量控制的用户来说,它是必不可少的工具。