二手 KLA / TENCOR Spectra FX 200 #9375219 待售
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KLA/TENCOR Spectra FX 200是一种用于半导体制造的自动化晶圆测试和计量设备。它旨在测量和收集有关半导体晶片以及其他现有器件结构的各种物理和光学特性的信息。该系统使用KLA专有的3D扫描技术来精确扫描直径达200 mm的晶片。两个集成的传感器-线性阵列检测器和双反射检测器-允许对晶圆上的表面和特征进行全面和增强的计量。KLA Spectra FX 200提供了广泛的功能和功能。它具有极好的重复性和准确性（高达0.5微米），能够在高低光照水平下从晶片中捕获数据，并提供多种扫描模式，从而能够测试各种各样的晶片尺寸。该装置设计成本和时间效率高，利用精确级设计，以提高吞吐量速度和最小化振动。TENCOR用户友好型软件提供了一系列功能和优势,例如自动对齐和跟踪、自动扫描/测量/报告执行以及硬件/软件集成。为了提高图像质量,TENCOR Spectra FX 200采用了一种名为自动对焦工具（AFS）的创新对焦机,它利用反馈回路自动调整仪器的对焦,确保了结果的高精度和准确性。Spectra FX 200还提供了有用的数据收集和分析工具。实时收集数据,并自动保存数据以供将来参考或处理。导入/导出功能也可用。资产可以与许多外围设备集成,例如摄像头、激光和显微镜。总体而言，KLA/TENCOR Spectra FX 200是一种先进的晶圆测试和计量模型，设计用于半导体制造。其专有的扫描设备和功能,如AFS和数据分析工具,使其成为一种功能强大的工具,可帮助开发和改进先进的半导体器件。
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