二手 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293587780 待售

KLA/TENCOR SpectraShape 8660是一种先进的晶圆测试和计量设备，适用于广泛的晶圆计量要求。它提供了极好的精度、重复性和吞吐量，使其成为精确晶圆测量和检验的理想解决方桉。KLA SpectraShape 8660设计为一个自动化的高分辨率系统,可精确测量高达125 μ m的表面。它使用一种称为AutoScan的表面计量干涉测量技术，以确保其测量和检查的准确性。这项技术的工作原理是在非常紧密间隔的点扫描晶圆，并利用多个波长生成测量数据。该单元可通过直径和接触孔尺寸测量各种关键参数，如图样沟槽深度、闸口间隙。TENCOR SpectraShape 8660配备了一个大型、高分辨率的VGA显示屏，用于查看结果。它具有强大的内部数据处理功能,使其能够快速分析和呈现数据。该机还支持各种探针选项和先进的CCD摄像头，可帮助操作员访问和准确性。KLA还为SpectraShape 8660提供了多项增值功能。其中之一是其专有的"Spectronet"软件,它使用户能够轻松地在多个站点上创建、监视和查看数据。此软件能够与远程工作站共享数据,便于远程查看报告。KLA/TENCOR SpectraShape 8660被设计为易于使用和维护。其软件界面直观，维护程序简单明了。总体而言，该工具可以为一系列晶圆计量要求提供经济高效、可靠和精确的解决方桉。