二手 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #293630250 待售

KLA/TENCOR SpectraShape 8660是一种晶圆测试和计量设备，用于检查晶圆是否有缺陷。该系统配备了提供高分辨率非接触式2D和3D测量的干涉仪。晶片安装在可调的4轴级上，以便快速导航和精确定位，使其能够测量缺陷大小、轮廓轮廓、平坦度和其他参数。该单元具有高达0.1nm的可重复性（低至0.02nm）,具有多种不同的组件,包括6英寸（标准）和8英寸（选项）晶圆。KLA SpectraShape 8660具有多种优势功能,有助于改善结果和工作流程。其中包括一台带有非接触式计量（NCM）工具的自动非接触式2D（高度）测量机，用于缺陷审查和修正。资产还提供自动对焦功能,以实现更快、更高效的操作。此外，该平台还配备了先进的一键缺陷审查模型，以快速识别和解决各种缺陷。全面的数据管理设备有助于存储、分析和归档所有结果。此外，系统还配备了灵活的测试协议开发选项，用户可以创建自定义算法来指导测试。操作员还能够查看各种交互式3 D可视化中的数据,并自定义数据表示以帮助进行质量控制。TENCOR SpectraShape 8660是一种多功能工具，可以节省晶圆测试和计量领域的时间和劳力。它的特点和选项提供了具有可重复结果的高度精确的测量。此外,内置的数据管理和测试协议开发可以帮助简化操作、提高效率和准确性,并帮助降低成本。