二手 KLA / TENCOR SpectraShape 8660 #9223300 待售

KLA/TENCOR SpectraShape 8660是一种最先进的晶片测试和计量设备，设计用于测量半导体晶片的电气、光学和机械性能。它能够精确测量直径达8英寸的半导体晶片，并提供了一种可靠、可重复和经济高效的方法来确定晶片的质量。8660利用独特的多传感器技术，从半导体晶圆收集数据。该系统由探头、光学头和集成电气测试电子设备组成。探头由一个金字塔形探头阵列组成，该阵列能够同时接触晶圆上的多达8个位置，可用于手动或自动化过程。探针可以检测电阻和电容的变化，并提供晶圆表面的二维成像。光学头提供光学显微镜，可提供高分辨率图像来检测表面缺陷、污染物或物理特性变化。集成测试电子处理载流子移动性、电性能、排泄性等半导体电气参数的测量。KLA SpectraShape 8660还提供了广泛的数据分析功能,可实现晶圆与晶圆的比较、模式识别和故障分析。8660的可扩展集成层允许客户将额外的测试流程集成到单元中，如Visual Defect Inspection、Photomask Inspection和自动ITO/ICP测试。凭借独特的多传感器技术和先进的数据分析能力，TENCOR SpectraShape 8660是半导体晶圆生产设施理想的晶圆测试和计量机器。它提供全面的晶圆测试和计量，以确保产品质量和降低风险的成本效益的方式。