二手 KLA / TENCOR Spectrashape 8810 #9384659 待售
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KLA/TENCOR Spectrashape 8810是一种高精度晶圆测试和计量设备,设计用于高性能光学计量和检查反射率和图像质量,用于各种材料和应用。该系统配备了多种光学元件,如切尔尼-特纳光谱仪、光源、CMOS探测器和滤光片,以实现先进的光学分析和测量能力。光学单元设计有两条独立的光路,能够对二维图像进行高保真成像和实时记录光谱。它还具有高精度的精确级和快速的扫描速度,允许在大面积晶圆上快速执行扩展测试序列。KLA Spectrashape 8810可用于一系列应用,包括晶圆缺陷评估和检验、无损检测、缺陷定位和分析、光学表征和薄膜厚度测量。它还提供一系列自动测量功能,包括激光跟踪、暗场成像和粒子分析。机器的高级软件提供了强大的定量分析能力,使用户能够快速评估薄膜均匀性、涂层均匀性、晶片经度和其他晶片缺陷,以及能够识别清晰、分离和可识别的缺陷区域。总体而言,TENCOR Spectrashape 8810工具为各种材料和应用提供了高效、准确和可靠的测量。其高精度光学资产和自动化测试功能使用户能够快速轻松地评估晶圆结构和缺陷,从而开发新的工艺和技术。
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