二手 KLA / TENCOR Surfscan AIT #293750395 待售
网址复制成功！
单击可缩放
KLA/TENCOR Surfscan AIT是一种晶圆测试和计量设备，旨在使半导体制造商能够快速准确地测试和测量其晶圆和结构的性能。该系统的主要部件是光学显微镜、CCD相机、种类繁多的软硬件模块以及工艺参数控制器。光学显微镜具有先进的光学变焦功能和可重新配置的照明装置，用于观察晶圆上的微观特征。CCD照相机可用于捕捉被检查晶圆和结构的高分辨率图像。这台机器还包括各种硬件模块，包括用于测量各种尺度尺寸的集成计量工具，以及用于制造过程中制图晶片的光刻资产。在软件方面，KLA Surfscan AIT包含了许多旨在收集、分析和显示数据的应用程序。TENCOR Surfscan AIT可用于评估微芯片晶片的完整性、测量电阻率、检测污染以及测量结构和特征的临界尺寸（CD）变化。Surfscan AIT还具有识别缺陷和执行快速分类和鉴定的功能。它内置的过程参数控制器能够实时控制过程和操作参数。此外,KLA/TENCOR Surfscan AIT还包括高级数据收集、分析和报告功能。该模型利用各种数据收集方法，包括自动目视检查、复杂数据分析和软件定义的度量，来捕获和分析从每项测试和测量中获得的数据。然后将这些数据汇编成报告，供制造商用来评估其晶片和结构的性能。KLA Surfscan AIT设计用于半导体制造的大批量生产线。其强大的软硬件模块组合，以及快速准确测试和测量晶片和结构的能力，使其成为晶片测试和计量的理想选择。
还没有评论