二手 KLA / TENCOR Surfscan AIT #9155784 待售

KLA/TENCOR Surfscan AIT是一种领先的晶圆测试和计量设备，设计用于高速和高通量晶圆检验和计量操作。适用于多种应用，从简单的缺陷检查到复杂的过程控制系统。该系统包含多个组件,包括高级硬件单元、集成软件机器和可选附件。硬件组件包括一个照明器、物镜和检测器组件，用于捕获晶圆的图像，用于缺陷检测、计量和其他检查。检测器组件由高速CCD或高灵敏度CCD组成,具体取决于应用程序。软件工具包括功能强大且直观的图形用户界面（GUI）以及用于检查各种晶圆缺陷的各种自动缺陷检测算法。GUI旨在促进用户友好操作,以实现最佳缺陷检测。软件资产还支持高级涡流成像以及强大的统计过程控制（SPC）和测量过程表征（MPC）功能,以提高计量性能。KLA Surfscan AIT模型具有多种操作特性，与其他晶圆检验和计量系统相比具有明显优势。它提供极高的吞吐量，每小时高达300毫米晶圆，并且可以快速重新配置以适应不断变化的工艺要求。它还实现了高度精确的测量,特别注重阵列晶圆、3D结构和集成电路。这些设备将高度先进和准确的硬件和软件包与工业级易用性结合在一起,以实现快速、准确和经济高效的晶圆测试。它提供了跨多个应用节点的同步在线计量和缺陷检测，以实现全面的检测覆盖和实时的过程优化。此外,与流行的自动化控制软件Semi-AUTOgonous FABrication （SAF）系统的兼容性使得使用TENCOR Surfscan AIT系统更具吸引力。Surfscan AIT单元是一个全面、经济高效的晶片测试和计量解决方桉,它提供了克服现代晶片生产复杂性所需的速度和准确性。其先进的硬件和软件功能确保了准确可靠的结果,使其成为关键过程控制和监视任务的理想选择。