二手 KLA / TENCOR Surfscan AIT #9204828 待售
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![KLA / TENCOR Surfscan AIT 图为 已使用的 KLA / TENCOR Surfscan AIT 待售](https://cdn.caeonline.com/images/kla-tencor_surfscan-ait_1260746.jpg)
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已售出
ID: 9204828
Patterned wafer inspection system, 8"
Model no: 8010
(2) Blowers
(2) Blower fans
Foot plate
Monitor
Keyboard
Joystick
Jogdial
Floppy Disk Drive (FDD)
(6) Pad
Hard Disk Drive (HDD)
FDD
CDROM
Jaz drive
Stage assembly (8" chuck)
Optic unit
(2) Analog boards PMT 10C
CCD Camera
Microscope DR assembly board
PSF Assembly board
PSF S8000 Assembly board
Robot assembly
Turret assembly:
Objective lens:
10x / 0.30BD
100x / 0.80BD
250x / 0.90BD
System controller card cadge:
Hard disk
Motor driver board
Slot 1: VGA Card
Slot 3: CPU Board
Slot 5: Data processing board 1
Slot 6: Data processing board 2
Slot 8: GPIO Board
Slot 9: TIM Board
Slot 11: ADS Board
Slot 12: Motor control 1
Slot 13: Motor control 2
Slot 15: 4-Port SER board
Slot 17: Network card
Slot 18: DIO 500
Power: 208 V, 60 Hz, Single phase, 30 A
1997 vintage.
KLA/TENCOR Surfscan AIT是一种晶圆测试和计量设备,设计用于半导体晶圆的检验和计量。该系统利用光学和X射线技术相结合,对晶圆表面进行全面而有力的表征。KLA Surfscan AIT的核心部件是一个检测室,里面装有光学器件、透射样本级和防撞罩。这个腔室是真空环境,光学器件以覆盖整个晶片的编码扫描模式排列。该单元能够将各种样品传送到位,将其旋转至所需方向,并测量表面反射率和地形。TENCOR Surfscan AIT具有检测各类晶片缺陷的能力,如颗粒污染、划痕、晶体图样缺陷等。机器可以提供有关缺陷的空间和形状信息,以便精确地查明它们的位置。此外,该刀具可用于曲面测量,其中测量了粗糙度、刮擦深度和高度等曲面特性。为了提供更详细的分析,Surfscan AIT提供晶圆计量。这是通过结合资产的光学和X射线元件来实现的,以便精确测量特征大小和位置等特征。这是利用模型的高级成像算法和计算能力完成的。KLA/TENCOR Surfscan AIT设备坚固可靠,可用于各种晶圆测试和计量应用。例如,该系统可用于新材料的鉴定、工艺性能评估或故障分析。该单元还能够以更高的速度收集数据,允许在短时间内对范围广泛的晶片进行检查。总体而言,KLA Surfscan AIT是晶圆测试和计量的宝贵工具,使半导体晶圆表面的表征比以往任何时候都更加容易和高效。
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