二手 KLA / TENCOR TF-2 #136452 待售

ID: 136452
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Wafer defect inspection systems, 8", 1994 vintage.
KLA/TENCOR TF-2是半导体工业先进的晶圆测试和计量系统。它是一种用于检测、测量和分析具有高潜力的晶片的全自动解决方桉,能够高效地产生高质量的芯片。KLA TF-2使用先进的检测和成像系统来提供一整套检查、分析和计量工具。该系统利用高分辨率光学扫描和成像检测纳米级异常模式和缺陷。它还有一个飞行时间剖面仪和干涉仪,提供高保真高度剖面仪,使它能够检测到小至0.5纳米的规则和不规则地形。实时收集、分析、评估检验数据,提供快速准确的过程控制。TENCOR TF-2实现了对关键污染、质量和产量数据的自动采集和分析,几乎消除了处理和数据输入错误。该系统包括用于比较同类型缺陷、用于全面特征识别、边缘和轮廓测量、应变图迭加和下沉测量以及应力和缺陷密度估计的高级软件。TF-2还具有自动化的bin QC/QA、批控制功能和晶圆级最终审核功能。KLA/TENCOR TF-2在一台机器中提供高级功能,使其成为工业和材料应用的相当完整的解决方桉。它要求相对更快的检查时间,改进产量和过程控制,精湛的准确性和可重复性,并降低总体拥有成本。其速度和可靠性使其成为高产半导体生产工艺中的首选。
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