二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 45-014824 #293672012 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 45-014824晶圆测试计量设备设计用于快速、精确的晶圆测量。它拥有一个自动化、健壮的系统,可快速方便地扫描晶片,以了解关键尺寸、阵列几何形状、边缘参数和步骤。该单元能够测量扁平晶片以及曲线和凸起。KLA 45-014824机器提供了一种综合工具，能够精确测量半导体晶片上的各种不同特性。它利用灰度相机拍摄二维（2D）干涉图像，然后用来测量临界尺寸（CD）参数。它还采用激光模式识别资产来识别和测量凹槽参数。该模型还具有测量步长的能力。该设备配有用户友好界面和各种显示选项，在进行测量时提供方便和可靠性。此外,系统还提供数据分析功能,如CD统计分析。它还集成安装在四轴晶圆级上,允许在测量过程中自动执行步骤。TENCOR 45-014824专为快速可靠的测量而设计,具有重迭的视野,可同时从多个尖端进行测量。它的动态交互控制技术消除了振动和环境漂移，有助于从晶圆到晶圆的一致可靠的测量。该设备采用高压FEE电路,可确保可重复的CD测量,而不考虑小规模的模式变化。机器配备了各种功能，以确保精确的测量，例如带有闭环反馈的可重复性监视器。提供了自动例程以快速方便地测量晶片,并提供了用于创建自定义测量脚本的配方库。此外,该工具具有开放式体系结构,因此可以与各种计量工具集成,以实现特征识别和数据集成。总体而言，THERMA-WAVE 45-014824是一种先进的晶圆测试和计量资产，旨在高效测量晶圆的多个参数和特征。该模型提供业界领先的性能、吞吐量和准确性,并且易于与其他计量工具集成。它是晶圆检测和测试在先进半导体制造和生产应用中的理想选择。