二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE 5220Xp #293656107 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE 5220Xp是一种晶圆测试和计量设备，结合了强大的光学、机械和电气测试功能，用于高级晶圆分析。系统的主要部件包括一个检查显微镜、多轴纳米定位器、一个微锻造模块和一个温度映射模块。显微镜提供检查和计量能力，允许自动观察和测量设备结构。多轴纳米定位器可在电气测试期间对探针进行精确定位。该微锻造模块在制造过程中提供了设备的精确调整。温度映射模块能够在一定温度范围内对设备进行精确的温度读数。KLA 5220Xp单元利用三重检测成像机,该机设计用于在广泛的场角和放大倍数范围内提供高分辨率图像。这是通过使用高分辨率物镜、CCD相机和电荷耦合器件（CCD）检测器来实现的。三重检测工具允许精确调整测试结构，确保精确的结果和准确的测量。TENCOR 5220Xp使用阶段自动化资产进行晶圆映射和对齐。舞台自动化模型利用直线电动机精确地移动金刚石尖头探头，同时利用高精度旋转舞台对测试结构进行精确定位。该设备还采用了最先进的快速扫描双激光系统，为测试结构提供高分辨率热映射。这样可以快速检测和精确量化热效应,从而对处理环境进行精确控制。此外，该单位还采用了先进的现场电气测试能力。这包括能够快速准确地测量电阻率、电容、电感和频率响应等物理参数。该机还包括晶圆级测试的片上测试能力。5220Xp工具旨在为制造商提供无与伦比的晶圆测试、计量和检验操作精度和精确度。它利用经过验证的光学、机械和电气测试功能以及最先进的温度映射和现场电气测试功能,以确保制造商能够进行准确和精确的测量。这使制造商有信心，他们获得的测试结果将是可靠和最高质量的。