二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9211045 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200设备是一种精密的晶圆测试和计量系统，针对晶圆器件的精确测量进行了优化。这个单元有一个高灵敏度的数字信号处理器，它可以扫描小至20纳米的缺陷，而它的多轴光头配置是为了高通量性能而优化的。此外，机器的精密运动编码技术使自动化探针能够精确定位探针，采样晶圆上的各种位置。KLA FX 200配备了一系列的自动化测试解决方桉和可选择的测量探针，以适应不同的测试和计量要求。它具有一个自动对焦工具，配置为使探针与晶圆表面对齐，以便精确测量表面地形。自动对焦资产还包括为补偿样品高度和方向的任何差异而设计的数字图像处理算法。该模型包括多种高级测试和计量工具，包括高速光学检查、烧录测试、射频发射和接收能力以及热分析。它支持逻辑、DRAM和SRAM、EPROM和双极器件等一系列晶圆类型。此外,它还具有一系列分析参数,包括电流、电压、定时和电容,以进一步表征设备的特性。该设备还为各种行业标准软件和其他编程语言提供支持，使其易于集成到现有的制造生产线中。TENCOR FX 200提供全面的数据显示和分析功能,允许用户查看和解释测量结果。该系统还有一个直观的用户界面，设计方便导航，可以独立配置操作，也可以连接到中央数据管理单元。它有一个自动故障诊断机器,用于检测和报告测量操作过程中的任何故障或问题,帮助确保产品质量和产量。此外,THERMA-WAVE FX 200工具还为过程控制和质量保证提供了快速、准确和一致的测量。它可以同时测试数百个晶片上的电气参数,并提供快速反馈以帮助缩短循环时间。该资产配有警报指示器，以提醒操作员注意潜在问题，以及一系列适合不同应用的运动控制选项。总体而言,FX 200型号使制造商能够执行极其精确和一致的晶圆测试和计量。它的高灵敏度数字信号处理器、多轴光头配置和自动探针提供可靠和可重复的性能，而其各种测试和计量工具使用户能够精确地表征和检查设备。该系统具有可扩展的设计、直观的用户界面和自动故障诊断设备,可为制造商提供全面的晶圆测试和计量解决方桉。