二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9236721 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200是一种最先进的晶圆测试和计量设备，提供晶圆表面形状、厚度和地形的精确测量。利用其先进的传感器和光学系统，可以快速有效地进行这些测量。KLA FX 200实现了"自动晶片剖析"、"三平面切片测量"、"凝视干涉"等独特技术，使系统能够精确分析表面缺陷、晶片曲率等性能，精度高达0.5 nm。此外，TENCOR FX 200配备了自动化晶圆处理单元，使测试和计量过程实现无缝自动化。THERMA-WAVE FX 200包括高级算法，能够检测各种类型的表面缺陷和其他异常信号。机器能够对整个晶片表面进行扫描，以极高的精度准确检测有吸引力的缺陷，如丘陵、点蚀和晶体错位。它甚至可以检测和测量极精细的曲面特征如针孔、有限边线和其他微妙特征。此外，该工具凭借强大的光学资产和先进的算法，能够快速高效地进行多次收购。这使客户能够以显着减少的停机时间执行现场实时串联生产,并提高产品质量。FX 200模型能够同时进行非接触和接触测量。它利用强光源以极高的精度精确测量晶片的表面特征。此外，设备还配备了方便用户的图形用户界面，能够提供有关晶圆测试和计量的详细图形信息。这使得系统易于专业人员和没有经验的用户使用。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200单元是晶圆测试和计量的终极解决方桉。它结合了尖端特征和准确的结果，使研究人员和制造商能够以高效和经济高效的方式准确、快速地监测和分析晶片。