二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE FX 200 #9240151 待售
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ID: 9240151
优质的: 2006
Thickness measurement system
Module: User interface
Missing PC
2006 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200是一种高端晶圆测试和计量设备，设计用于各种半导体晶圆制造工艺的最大吞吐量和精度。这种先进的系统将四种精密的焊接技术结合在一起：非接触式光学、接触式光学、电阻率和剪力，每个都能够收集有关晶圆的基本数据。KLA FX 200利用现代成像和光学系统、热电偶、数码CCD/CMOS（电荷耦合器件或互补金属氧化物半导体）相机，以及先进的光学器件来最好地分析半导体晶片。TENCOR FX 200需要专门的软件来操作和编程某些步骤，例如捕获、显示和记录每次晶圆扫描的结果。该软件采用图形用户界面，便于导航和解释数据。此单元还提供具有完整记录保存功能的扩展日志功能。集成的热电偶测量机可以在严格温度控制的同时对晶片进行可靠的处理。FX 200使用了几种先进的光学技术来确保精确和精确的检查。这包括一个用于对整个晶圆进行大规模分析的非接触式光学工具；用于绘制斑点缺陷的接触光学资产；和剪力成像,以获取详细的地下数据。此外，该模型还采用电阻表测量电阻率和寿命。THERMA-WAVE FX 200设备还提供了许多其他功能来确保最大精度,例如自动缺陷映射、动态特征识别和自动基准测试功能。它还包括一个集成的用户定义质量控制系统，以验证数据的准确性和确保晶圆质量。此外，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE FX 200能够进行即时视频测量，以创建晶圆表面和制造过程的数字视频。总体而言,KLA FX 200是一个先进的晶圆测试和计量单元,旨在优化半导体制造过程中的产量、吞吐量和精度。这种综合的机器拥有强大的集成技术和软件，以确保严格的检验和质量控制。
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