二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE J-109 #9209398 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE J-109是一种最先进的晶圆测试和计量设备,设计用于快速精确地测量半导体芯片的电气和物理特性。该系统基于KLA专利的Tensor产品线和TENCOR离轴离子束蚀刻（OAIBE）技术。该装置有能力检查尺寸达200毫米的晶片，并能以高达10纳米的分辨率测量电阻和电容等电气参数。该机器的OAIBE能力使其能够分析包含沟槽和通风孔的晶片，并测量到10nm以下的深度。对于物理属性,KLA J-109能够以100 nm分辨率测量关键尺寸,如线宽、栅极长度和接触尺寸。通过其8nm激光干涉仪和14位CCD相机等先进硬件功能,以及光束变形补偿和多轴扫描等先进功能,使TENCOR J-109的测量精度和可重复性成为可能。这些功能的组合确保了非常精确、可重复和可靠的结果。该工具旨在方便操作员和维修人员使用。用户友好的图形用户界面提供对一系列有用功能的访问,如配方向导、配方共享和参数优化。维护人员可以使用一系列工具,例如基于Web的维护门户、远程维护门户和技术人员的工具箱。J-109是为广泛的晶圆检验和计量应用而设计的通用资产。它可以用于新工艺的研发、生产工艺的监测以及缺陷产品的检测和隔离。该型号的大容量（高达200毫米晶圆）和高分辨率（降至10nm）的能力使其能够用于包括IC制造、包装和测试、印刷电路板和晶圆印刷在内的广泛行业。总体而言，THERMA-WAVE J-109是一种高度先进但用户友好的晶圆测试和计量设备，设计用于快速精确地测量半导体芯片的电气和物理特性。其大容量（高达200毫米晶圆）、高分辨率（降至10nm）以及先进的硬件和软件功能，使其成为广泛的晶圆检验和计量应用的理想选择。