二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 DUV #9214772 待售

ID: 9214772
Thickness measurement system.
KLA OP 2600深紫外线(DUV)光学剖面仪是一种晶圆测试和计量设备,设计用于测量光电器件的临界表面特性。它具有高分辨率的自动化光学系统,可生成范围广泛的表面测量,精度高达0.5nm,可重复性为0.2nm。该单元使用激光扫描显微镜、功能强大的软件,以及先进的TENCOR显微镜阶段,提供被测设备表面的精确视图。KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600 DUV的分辨率高达3µm,视野高达600µm。这台机器提供明场成像和暗场扫描,可用于测量多放大倍数的表面地形。显微镜可通过可变照明设置测量小特征和大特征。此外,KLA OP 2600 DUV具有三维轮廓映射功能,可精确测量传统显微镜通常无法访问的尺寸和特征。除了先进的显微镜能力外,TENCOR OP 2600 DUV光学剖面仪还能够掺杂隔离测量和电流-电压曲线、发射光谱、接触电阻等电气性能测量。它还提供了多种附加功能,包括光学计量以及纳米级设备和特性的表征。THERMA-WAVE OP 2600 DUV工具设计直观易用。其直观的用户界面允许控制其所有功能。它的大型触摸屏显示屏允许您快速轻松地访问资产的所有功能。此外,该模型还附有全面的用户手册和应用程序库,以确保快速、可靠的使用。OP 2600 DUV光学剖面仪是一种经济高效且用途广泛的晶圆测试和计量设备。它提供了正在测试的设备的全面视图,并实现了可靠的性能测量。该系统强大的软件功能、先进的光学单元和用户友好的界面,将其定位为测试光电行业使用的设备范围的有力工具。
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