二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293634793 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一种晶圆测试和计量设备，主要设计用于半导体工业。该系统在多达12个晶圆站点上同时提供计量测量,从而在很小的占地面积内实现最大吞吐量。该装置能够进行广泛的测量，包括阶梯轮廓、线路扫描、漏电、电容和电阻率。机器的软件用户友好，允许定制屏幕，使其易于设置和使用。KLA OP 2600与KLA 2D检测软件集成，进一步提供了优越的数据收集和分析能力。此外,该工具的设计符合行业标准的质量流程,使其适合用于前端和后端生产流程。该资产由TENCOR高速FlexTech检测模型提供动力，该模型利用一个获得专利的基于激光的平台来精确检测晶圆的特征和缺陷。这使设备能够测量小至25纳米的特征。该系统还配备了6点光学探测器和精密显微镜，以确保测量的准确性。该单元每个周期容量为12个150毫米晶圆，并装有一个通用的，启用了编子的机器人，以获得额外的灵活性。此外，机器人还配备了12个独立的电子计数通道，可实现晶圆的最大吞吐量。此外,该机器还配备了多种自动化功能,包括自动晶圆验证、焦点识别、对准和自动重新扫描功能。它与一系列计量技术兼容，包括晶圆收缩、CD/CD变体和Focus/NPDF。该工具的软件旨在通过集成流程优化工具和提供有关流程有效性的实时反馈来增强流程控制并缩短上市时间。此外,该资产的设计非常灵活,可提供多种3D映像选项,并与各种其他软件包集成。总体而言，TENCOR OP 2600为晶圆测试和计量提供了完整的解决方桉。其用户友好、可定制的软件提供了易于设置的平台,而其先进的检测模型和广泛的自动化功能确保了精确可靠的结果。