二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293649607 待售

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ID: 293649607
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一种晶圆测试和计量设备,能够进行快速的汽车和设备资格测试。它旨在检测和识别各种半导体晶片中的缺陷,以及对它们进行详细的测量和分析。该系统由光学透镜阵列、双傅立叶分析和数字图像相关技术组成,允许在纳米级对晶片进行更快、更精确的检测。KLA OP 2600的光学镜头阵列经过优化,可以工作和测量薄层,厚度可达0.5至20微米。这样可以确保即使是最小的缺陷也能以极高的精度被检测到。然后,该单元的双傅立叶分析和数字图像相关技术允许在实时和离线模式下进行测量。这为用户提供了快速、可靠地决定晶圆性能和质量的能力。机器的高级成像能力也为用户提供了准确创建整体设备一致性评估的能力。这是通过将测量结果与客户规范进行比较来完成的。TENCOR OP 2600还具有自动化的鉴定/测量设置,并且可以在短短五分钟内设置特定的测试。此自动化测试过程有助于提高吞吐量、缩短周期时间并导致流程改进。该工具还具有专有的晶圆吞吐量计算算法,可自动估计晶圆周期时间、打印计数和基板。这有助于确保正确的生产过程和减少错误造成的浪费。THERMA-WAVE OP 2600还带有自动缺陷识别和分类功能,有助于减少初始缺陷调查所花费的时间,最大限度地减少误报。这也有助于加快目视检查,更准确地诊断晶片。总体而言,OP 2600是一种功能强大的晶圆测试和计量资产,可提供高分辨率、高精度的薄层设备测量和分析。其光学透镜阵列、双傅立叶分析、数字图像相关技术使高速、可靠的检测和测量高分辨率细节成为可能。此外,它的自动化测试功能有助于提高吞吐量、缩短周期时间并提高整个流程的性能。
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