二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293766853 待售

KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一种晶圆测试和计量设备。该系统旨在分析产品晶片和监控过程。它提供了光学轮廓测量、散射测量和扫描电子显微镜（SEM）的组合。KLA OP 2600的光学轮廓测量利用红外光束光学单元从任何入射角度获取3D地形测量。此数据用于生成高分辨率拓扑图像和定量配置文件。该机可精确测量粗糙度、步高、晶粒尺寸等表面特性。TENCOR OP 2600的散射测量模块是为晶圆等物体的光学外观表征而设计的。该工具具有出色的光度精度，对于关键性能评价至关重要。它提供了对角度、颜色、图桉缺陷、划痕、雾霾等表面缺陷的精确测量。THERMA-WAVE OP 2600的扫描电子显微镜模块提供微量成像和分析。其电子光学资产提高了图像分辨率和细节。该模块可用于测量晶粒尺寸、颗粒污染和孔隙度。它还允许用户在上端和横截面模式下检查晶片的3-D曲面。OP 2600也有减少空气污染的低排放模式。它允许长时间不间断的操作,而无需为维护或净化而关闭。该设备还具有直观的软件，允许操作员以最短的启动时间快速通过不同的测试和测量程序。总体而言，KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600是一个功能强大、用途广泛的晶圆测试和计量系统。它结合了光学轮廓法、散射法和扫描电子显微镜，可以对晶圆表面进行精确、详细的分析。其低排放单元和直观的软件可在最短的停机时间内实现长时间高效的操作。