二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OP 2600 #293820412 待售
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ID: 293820412
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1997
Film thickness measurement system, 6"-8"
Measurement tool: BPR, BPE, VAS
SBC Board, CPU Pentium III 600 MHz
COGNEX 3000 Vision system
Robot
ESC200 Controller
1997 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OP 2600晶片测试计量设备是为晶片分析表征而设计的集成计量平台。它由计量子系统和测试子系统两个主要组成部分组成。计量子系统采用CCD立体显微镜，用于收集和分析模具级图像。它配备了自动聚焦系统、自动校准单元和图像处理机。利用先进的模式识别算法对CCD输出进行了分析，确定了模具高度、切割位置、模具倾斜度等相关参数。测试子系统由热测量工具和自动泄漏检测资产组成。热测量模型通过向晶片发送低功率红外光束和测量发射的热能来测量晶片的热导率。自动泄漏检测设备设计用于检测晶圆表面的裂缝或其他故障。它利用高速扫描激光器扫描晶圆的整个表面并检测任何故障。总体而言，KLA OP 2600晶圆测试和计量系统是晶圆分析和表征的强大而可靠的平台。它通过自动聚焦和校准系统、模式识别算法以及热测量和自动泄漏检测系统提供了高精度和高精度。通过这个平台，操作员能够用一个集成的计量单元快速准确地分析和表征各种晶圆类型。
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